Tokyo 8月 01, 2022

ローデ・シュワルツから、オンウェハ・デバイスの特性評価試験ソリューションをご紹介

ローデ・シュワルツは、オンウェハDUTのRF性能について完全な特性評価ができるテスト・ソリューション を新たに発売します。このテスト・ソリューションは、ローデ・シュワルツのパワフルなR&S ZNAベクトル・ ネットワーク・アナライザにFormFactor社の業界トップレベルの技術に基づいたプローブ・システムを組み 合わせました。そのため、半導体メーカーの皆様には、開発段階や製品の検証段階でも、さらには生産にお いてもオンウェハ・デバイスの特性評価を高い信頼性と再現性のもとで行っていただけます。

5G RFフロントエンドの設計担当者は、周波数カバレッジや出力に適したRF性能を確保すると同時にエネルギー効率の最適化も追求しています。その開発プロセスで重要な段階の一つがRF設計の検証であり、できるだけ早期に設計に対するフィードバックが得られるようにウェハ・レベルの状態で事前に性能と能力を評価するのです。このオンウェハ状態のDUTの特性評価には、ベクトル・ネットワーク・アナライザ（VNA）やプローブ・ステーション、RFプローブ、ケーブル、アダプタなどを含む測定システムのほか、個々のDUTやアプリケーションに対応した専用のキャリブレーション方法とキャリブレーション用基板も必要になります。

このような非常に重要な測定を実施するために、ローデ・シュワルツはハイエンドのR&S ZNAベクトル・ネットワーク・アナライザを提供しました。このR&S ZNAは、同軸ケーブルや導波管レベルであらゆるRF性能パラメータを評価可能なうえ、67 GHzを超える周波数域のアプリケーションに対応できる周波数エクステンダも用意しています。一方、FormFactor社には、温度制御や高周波プローブ、プローブ・ポジショナ、キャリブレーション・ツールなどを含め、手動から半自動、完全自動まで各種プローブ・システムを通じてウェハとの接続技術に対応いただきました。さらに、R&S ZNAを含めたテスト・システム全体のキャリブレーションは、FormFactor社のWinCal XEキャリブレーション・ソフトウェアによって完全サポートされています。

このテスト・セットアップは、完全に校正されていますので、ユーザーはR&S ZNAがもつすべてのテスト能力を活用できます。一般的なSパラメータ・テストによってフィルタやアクティブデバイスの特性評価が行えるだけでなく、パワーアンプの検証のために歪み・ゲイン・相互変調テストを実行することも可能です。デバイスの帯域幅にわたる位相特性をもとにミキサの周波数変換機能を評価するのも、今回の共同ソリューションがサポートする測定アプリケーションの活用方法の一つです。キャリブレーション・データはVNAに直接適用されており、完全に校正済みのセットアップであるため、ポスト処理は不要でVNAからそのまますべての結果を取得できます。また、ローデ・シュワルツの周波数エクステンダを使えば、6Gの調査研究において現在注目されているDバンドなどのサブTHz周波数への対応も見込めます。このエクステンダは、プローブ・ステーションに組み込むことでケーブル長を最短にし、プローブ端までの配線による損失を避け、最適なダイナミックレンジを実現することができます。

ウェハ・レベルでのRF特性の検証に加え、FormFactor社とローデ・シュワルツのソリューションがどのように連携して機能するかについて、詳しくは https://www.rohde-schwarz.com/_56279-1241099.htmlをご覧ください。