オンウエハーテスト

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ウエハーとダイのテスト

オンウエハーテストとダイテストのためのRFプロービング

現代の世界は、有線と無線の両方の接続に依存しています。この接続を実現するのがチップ、とりわけRFチップです。RFチップは、より多くの機能や周波数バンドを継続的にサポートしています。一般に、複雑なRFチップには、システムインパッケージ(SIP)と同様にさまざまな機能や半導体テクノロジーが含まれます。

各要素と半導体の機能を検証する場合、高コストの統合とパッケージングの前に個別の機能ブロックを検証するテストを行います。製造プロセスでは、早い段階でウエハーとダイのテストを行います。

ローデ・シュワルツは、高速かつ正確なオンウエハーテストとダイテストを実行できる最先端の測定器を提供しています。高度なRFプロービングを提供するために、プローブステーションの最先端のスペシャリストとも連携しています。

オンウエハーテストの課題

プローブステーションを使用するRFプロービングは、製品の設計、検証、製造のさまざまな段階で適用されます。どのような場合でも、テスト機器とプロービングの統合が不可欠です。

開発と設計の検証には、以下の作業が伴います。

  • 手動または半自動のプローブステーションでのウエハーまたはダイの柔軟な検証
  • Sパラメータ測定とさらなるRF測定のための特別なベクトル校正
  • ミリ波およびTHzアプリケーションにおける損失を回避するために、プローバーに周波数コンバーターまたはRFフロントエンドを統合
  • アクティブデバイスのためのRFとDCの組み合わせ

最終設計では冷却が利用できないため、アクティブコンポーネントには特別な注意が必要です。

製造時には、以下の作業を行います。

  • プローブステーションとテスト機器間の相互作用の同期による高速検証
  • クロストークを回避するために、マルチサイトプロービングと周波数オフセットによるパラレルテストを実施
  • デバイスへの損傷を防ぐためにタッチダウンを削減

オンウエハーテスト用の高性能ソリューション

ローデ・シュワルツは、開発から製造まで、オンウエハーテストのあらゆる段階のソリューションを提供しています。

当社のポートフォリオの紹介と概要:

  • 高性能ベクトル・ネットワーク・アナライザR&S®ZNA:ウエハーレベルとダイレベルの両方でアクティブコンポーネントとパッシブコンポーネントを検証するのに必要なすべての機能
  • R&S®ZCファミリーのミリ波コンバーター:テラヘルツ周波数を調査するために周波数レンジを最高1.1 THzに拡張
  • マルチポート・ベクトル・ネットワーク・アナライザR&S®ZNBT:最大24ポートのパラレルテストで速度を最適化し、大量生産に最適
  • 外部フロントエンドR&S®FE170:プローブに隣接するウエハー上で変調テストを行うための広帯域アップコンバージョンと、プローブステーション内でのコンパクトな統合

当社は、プロービングだけでなく、ロードプルおよびインピーダンスマッチングにも対応する包括的なソリューションを開発するために、パートナーと密接に連携しています。

  • オンウエハーテストとダイテストのプロービング:ローデ・シュワルツのベクトル・ネットワーク・アナライザとMPI CorporationおよびFormFactorのプローブシステムを統合。MPIのRF校正ソフトウェアQAlibria®とFormfactorのRF測定校正ソフトウェアWinCalは、R&Sの各種ベクトル・ネットワーク・アナライザをサポートしています。
  • ロードプルおよびインピーダンスマッチング:Maury MicrowaveとFocus Microwavesのチューナーを使用
  • いずれの場合も、当社のハイエンド・ベクトル・ネットワーク・アナライザR&S ZNAおよびその他のソリューションは、オンウエハーおよびロードプルシステムのためにパートナーから提供されているシステムソフトウェアに完全に統合され、サポートされています

当社のパートナー

MPI Corporation

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ローデ・シュワルツのオンウエハーテストソリューションの利点

ローデ・シュワルツのオンウエハーテストソリューションは、使いやすい操作性と信頼できる校正でシームレスな体験を提供します。アプローチが柔軟なため、特定のテスト要件に応じてセットアップをカスタマイズし、最適なパフォーマンスと効率を確保することができます。

以下の利点があります。

  • さまざまなオプション:コストが最適化されたベクトル・ネットワーク・アナライザは、パッシブコンポーネントに4つ以上の真のパラレルポートを搭載します。一方、高性能のベクトル・ネットワーク・アナライザはアクティブコンポーネントで最高1.1 THzの周波数をカバーします。
  • 操作が容易:当社のベクトル・ネットワーク・アナライザは、オンウエハーテストおよびロードプルテストに使用されるシステムレベルのソフトウェアに統合されています。
  • システムレベルの校正:信頼性の高いテスト結果を得るために、当社のベクトル・ネットワーク・アナライザが直接、またはパートナーソフトウェアが校正を処理します。
  • 柔軟性:当社は、プローブとロードプルに携わる一流のパートナーと非依存型の連携体制をとり、お客様が最適なものを自由に選択できるように取り組んでいます。

オンウエハーテストと統合の詳細についてご不明な点などございましたら、お気軽にお問い合わせください。

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